Nikon-Mask Inspection

Nikon製品では国内で初めて装置保守事業について正式移管を受け、メーカーサービスと同等のテクニカルサポートを提供しています。

Nikon社製 各種マスク検査装置

サポート装置紹介

・AM6/AM601D (ぺリクル レチクル異物検査装置)
ぺリクルレチクル異物検査装置AM-6/AM-601Dは、レチクルとペリクル付レチクルの異物検査を行うシステムです。
異物検査はペリクル無しレチクルの両面、ペリクル付レチクルの両面とペリクル面に対して行うことができ、自動検査後にその位置を表示し、必要に応じて内蔵の顕微鏡により異物の確認をリモートコントロールで行えます。

・光波5i/光波6i(レーザー干渉式座標測定機)
光波5i/光波6i 光波干渉式座標測定機は、半導体集積回路用レチクル、マスク、およびウェハ上のパターンの位置座標、ピッチ寸法、微小寸法、レジストレーションなどを自動測定するものです。

・MPA-3/MPA-2A&2B(微少寸法測定機)
微小寸法測定機MPA3は、半導体集積回路製作用マスクおよびレチクル上の微細パターンの線幅や線間隔を測定するのに用いられます。

・LAMPAS-HD (反射型微少寸法測定器)

サポート業務内容

  • 故障トラブル対応(電話問診・訪問修理)
  • 定期点検、オーバーホール
  • 装置移設・立ち上げ
  • 消耗部品(Nikon純正部品)の販売
    旧型装置のため、メーカーでも取扱いの終了したパーツにつきましては、弊社で代替えパーツを準備しております。

私たちの保守サポートは、メーカ様から保守業務の移管を受けており、純正部品、純正工具および純正の装置情報を使用しお客様へサポート業務を提供させていただいております。そのため、メーカー様と同等品質の顧客サポートが可能です。
サポートに携わるエンジニアは、メーカー出身者で様々な装置保守の経験を持ち、光学系装置の保守サポートも経験豊富です。

MPA-3 Nikon純正部品販売

MPA-3純正部品は、現在メーカーから入手不可(取扱い終了)となっているため、弊社在庫品のみご提供可能です。在庫品終了時点で販売終了となります。
なお、MPA-3の延命対策として装置のアップグレードまたは、代替機種を企画中です。   
詳細は当社までお問い合わせをお願い致します。

PC9801/9821用FDDエミュレータの販売(改造)

この改造は、PC9801/9821のFDD互換機として、シリコンデバイスドライブを採用することで、シリコンディスクをFDと入れ替えることにより、長期間安定して装置を使用することが、可能となります。

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